SEM2000是一款基础款的多功能分析型钨灯丝扫描电镜。20 kV分辨率可以做到3.9 nm,支持升级30 kV电压,可观察亚微级尺度样品的微观结构信息。拥有比台式电镜更大的移动范围,适用于快速筛选待测样品,更多的扩展接口,可搭载BSED、EDS等附件,使应用领域更广。
分辨率 | 加速电压 | 放大倍数 |
3.9 nm @ 20 kV |
0.5~20 kV (30 kV可选) |
1~300,000x |
产品特点
▶简洁的操作界面
▷ 纯中文的操作界面
功能设计简单易操作。符合国人使用习惯,即使是新手用户,简单了解后也能快速上手。
▷ 完善的自动化功能
自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散,均可一键调节,提高工作效率。
▷ 丰富的测量工具
长度、面积、圆度、角度等测量功能强大的照片管理和预览、编辑功能。
▶特色功能
▷ 光学导航
想看哪里点哪里,导航更轻松
标配光学导航摄像头,可拍摄高清样品台照片,快速定位样品。
▷ 防撞设计
对新手更友好的防碰撞设计,最大限度保护敏感单元。
▷ 一键成像
*软件一键成像,新手也能轻松驾驭。
▷ 分析距离
最佳分析距离和成像距离二合一,轻松体验优质性能。
▶多种信息同时成像
SEM2000软件支持一键切换SE和BSE的混合成像。可同时观察到样品的形貌信息和成分信息。
▶分辨率指标
▶丰富的扩展性
▷ 高灵敏度背散射探测器
- 多通道成像
探测器设计精巧,灵敏度高,采用4分割设计,无需倾斜样品,可获得不同方向的阴影像以及成分分布图像。
- 二次电子成像和背散射电子成像对比
背散射电子成像模式下,荷电效应明显减弱,并且可以获得样品表面更多的成分信息。
▷ 能谱
金属夹杂物能谱面扫分析结果。
▷ 电子背散射衍射
钨灯丝电镜束流大,完全满足高分辨EBSD的测试需求,能够对金属、陶瓷、矿物等多晶材料进行晶体取向标定以及晶粒度大小等分析。 该图为Ni金属标样的EBSD反极图,能够识别晶粒大小和取向,判断晶界和孪晶,对材料组织结构进行精确判断。
应用案例
产品参数
电子光学系统 | 电子枪类型 | 预对中型发叉式钨灯丝电子枪 |
分辨率 | 3.9 nm @ 20 kV(SE) | |
4.5 nm @ 20 kV(BSE) | ||
放大倍率 | 1 x~300,000 x | |
加速电压 | 0.5 kV~20 kV | |
成像系统 | 探测器 | 二次电子探测器(ETD) |
*背散射电子探测器、*能谱仪EDS等 | ||
图像保存格式 | TIFF、JPG、BMP、PNG | |
真空系统 | 高真空 | 优于5×10-4 Pa |
控制方式 | 全自动控制 | |
泵 | 机械泵×1,分子泵×1 | |
样品室 | 摄像头 | 光学导航 |
样品台配置 | 两轴自动 | |
行程 | X: 100 mm | |
Y: 100 mm | ||
软件 | 语言 | 中文 |
操作系统 | Windows | |
导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 | |
特色功能 | 智能辅助消像散、大图拼接(选配软件) | |
安装要求 | 房间 | 长 ≥ 3000 mm,宽 ≥ 4000 mm,高 ≥ 2300 mm |
温度 | 20 ℃~25 ℃ | |
湿度 | ≤ 50 % | |
电气参数 | 电源AC 220 V(±10 %),50 Hz,2 kVA |